单晶炉

　　一、单晶炉的构成编辑提拉头：主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成

　　1.副室：主要是副室筒以及上下法兰组成

　　2.炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗 抽真空管道 组成

　　3.炉筒：包括取光孔

　　4.下炉筒：包括抽真空管道

　　5.底座机架：全铸铁机架和底座

　　6.坩埚下传动装置：主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成

　　7.分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管，若干胶管 水管卡套等

　　8.氩气管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件

　　9.真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等

　　10.电源以及电控柜：电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线

　　二、单晶炉的定义

　　单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

　　三、购买技术主要要求

　　1.单晶炉装料量（单台机产能多少）

　　2. 能拉多长、几寸的硅棒

　　3. 拉制晶棒的成品率是多少

　　4.拉出硅棒品质（少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度）

　　5.设备制造工艺控制保证 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。

　　四、单晶炉型号定义

　　单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120、150等型号是由装料量来决定的

　　五、单晶炉主要需要控制的方面

　　1.晶体直径（尺寸）

　　2.温度（功率控制）

　　3.原料（硅料）

　　4.泄漏率，氩气质量等