Cymer公司

　　在1960年代，芯片制造商使用可见光做为照射光源。到了1990年代，芯片制造商则开始使用热汞气(hot mercury gas)所产生较短波长的不可见紫外线做为照射光源，这种光源波长可使芯片的电路线宽缩小到0.35微米。接着芯片制造商还希望能由紫外线再改进至具有更短波长的X射线(X-ray)，但X-ray的成本仍然太高，而且很难被使用在芯片制造上。另一种可能做为芯片摄影平板技术(photolithography)的新光源是只有0.25微米波长的excimer雷射光。1997年，这项新雷射光源模块（laser module）被一家叫Cymer Inc.的新厂商正式开发出来，并被运用在芯片制程的成影设备Stepper上 。

　　回到1985年，Robert Akins与Richard Sandstrom两位来自加州大学圣地亚哥分校（UCSD）的博士，正思索着他们的未来。由于Akins的博士论文是研究有关雷射光学信息处理(optical information processing)，而Sandstrom则是有关雷射物理，他们过去都曾任职于一家国防工业公司(HLX Inc.)，从事一些运用雷射科技的国防机密项目 (esoteric projects)；例如：运用雷射感应熔解核能，卫星至潜水艇的雷射光通讯等。

　　有一天，他们在圣地亚哥进教的Del Mar海滩上休闲，掷飞盘与喝啤酒，讨论未来的前程发展。他们激发极多的创业构想，包括从事快餐经销商的可能性，不过最后决定创业还是应该奠定于自身的专长能力。于是在1986年，他们俩成立了一家名叫Cymer Inc.的公司，专门从事excimer 雷射光技术的研究开发。

　　Excimer lasers可经由混合两种氧体 － 氮（krypton）及氟（fluorine）来制造雷射光。将气体注入2呎长的铝管中，并在管子两端施以12000伏特高压，这个电压将以每秒750亿次的方式对气体进行放电，引起氪和氟原子的暂时性结合，所形成的氪氟分子被称为excited dimmer (已激发的二分子聚合物，因此简称为excimer)。但是当电压拿掉时，这个不稳定分子就会解裂，同时间它将释放出一道0.25微米波长深紫外线雷射光（deep-ultraviolet last light）。

　　1986年，Akins及Sandstrom开始在大学实验室中建立excimer雷射的原型。由于创业初期主要是借用加州大学的研究设备，他们还积欠学校大约$250,000元的债务。同时间，Cymer Inc.也设法自美国国防部争取委托研究资金，以维持公司的营运。在研究过程中他们遭遇许多技术瓶颈，例如，以12000伏特高压放电将会产生每秒上千次的剧烈震动，这时如何使雷射光源能长期稳定的激发，就会是一大技术难题。为了使Cymer公司能够继续运作，Akins及Sandstrom甚至将他们的房屋抵押，以筹措初期的研发资金。

　　1988年，Cymer Inc.接到由风险投资家Richard Abraham所提供的第一笔外部资金。Abraham曾在Fairchild半导体、Motorola，以及德州仪器等公司担任研究发工作与高阶经理人，因此他能了解深紫外线雷射光源对于未来IC产业制程创新的重要性。Abraham提出的投资条件是：「Cymer公司必须完全专注在excimer雷射光源在半导体制程设备上的应用开发」 。接着，当Canon及Nikon等IC设备制造商的科学家及经理人到Cymer进行参访后，也决定加入投资Cymer的行列。原因是Canon及Nikon所生产的IC芯片成影设备”steppers”，需要使用先进的光源模块，而excimer雷射光源将会是一种重大创新，因此他们购买Cymer公司 6%的股权。

　　1995年，由于IC产品对于芯片密度需求的提升，制程设备厂商开始纷纷转换使用0.25微米波长的excimer雷射光做为成影的光源。因此Cymer推出每套价值45万元的eximer雷射模式，成为炙手可热的产品。 Cymer Inc.的营业额也由1995年的1800万美元，迅速成长至1996年的6500万美元。1996年9月，Cymer的股票以每股9.5元公开上市，到了12月底，股价已上涨至42元。在两次公开发行活动中，Cymer Inc.顺利自市场上筹集到8000万的资金。

　　1997年2月，Cymer的股价已达到50元，而Akins持有2%的股权，价值高达200万美元。显然，他不会再需要考虑去卖汉堡了。