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薄膜材料
厚度小于1微米的膜材料，称为薄膜材料。
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半导体材料
半导体材料（semiconductor material）是一类具有半导体性能（导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mΩ·cm～1GΩ·cm范围内）、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。
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