入射光在线度小于光波长的微粒上散射后散射光和入射光波长相同的现象。
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仪器指科学技术上用于实验、计量、观测、检验、绘图等的器具或装置。
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人工智能（英文名：Artificial Intelligence，英文缩写：AI）。它是研究、开发用于模拟、延伸和扩展人的智能的理论、方法、技术及应用系统的一门新的技术科学。
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金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)是利用金属有机化合物作为源物质的一种化学气相淀积(CVD)工艺。
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控制系统是指由控制主体、控制客体和控制媒体组成的具有自身目标和功能的管理系统。
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