金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)是利用金属有机化合物作为源物质的一种化学气相淀积(CVD)工艺。
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控制系统是指由控制主体、控制客体和控制媒体组成的具有自身目标和功能的管理系统。
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断路器（circuit breaker）是指能够关合、承载和开断正常或异常回路条件下的电流的开关装置。
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特高压英文缩写UHV；电压符号是U（个别地方有用V表示的）；电压的单位是伏特，单位符号也是V；比伏大的有KV、比伏小的mV,uV，它们之间是千进位 。
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伺服电动机又称执行电动机，在自动控制系统中，用作执行元件，把所收到的电信号转换成电动机轴上的角位移或角速度输出。
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