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用于半导体制造业。FTIR乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。
目前所有的红外光谱仪都是都是傅里叶变换型的，光谱仪主要由光源（硅碳棒、高压汞灯）、迈克尔逊干涉仪、检测器和干涉仪组成。而傅里叶变换红外光谱仪的核心部分是迈克尔逊干涉仪，把样品放在检测器前，由于样品对某些频率的红外光产生吸收，使检测器接受到的干涉光强度发生变化，从而得到各种不同样品的干涉图。这种干涉图是光随动镜移动距离的变化曲线，借助傅里叶变换函数可得到光强随频率变化的频域图。这一过程可有计算机完成。
用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱包括以下几个步骤：
1）、分别收集背景（无样品时）的干涉图及样品的干涉图；
2）、分别通过傅里叶变换将上述干涉图转化为单光束红外光；
3）、将样品的单光束光谱处以背景的单光束光谱，得到样品的透射光谱或吸收光谱。
